액침노광1 노광공정 해상도 반도체 전공정 기술은 선폭을 줄이는 것이 목표이자 핵심 경쟁력이고, 이는 성능개선과 원가개선을 동시에 달성할 수 있다. (동일 면적 내에 그림을 더 작게 그리면, 더 많은 그림을 그릴 수 있음 : 면적 당 생산성 증대 + 원가 절감) 왜 노광공정이 중요할까? 1) 노광공정은 공정 시간 기준으로 전체 생산 공정 시간의 약 60%를 차지하며, 원가율도 전체 중 약 35%가량을 차지할 정도로 비중이 크다. 2) 노광공정은 빛으로 웨이퍼에 반도체 회로를 그리는 작업으로 회로를 얼마나 미세하게 그릴 수 있는 지를 결정짓는 공정이다. 노광공정에서 미세공정 능력은 해상도를 통해 수치화된다. 해상도를 증가시키기 의한 방법은 레이레이의 방정식을 통해 확인 가능하다. 웨이퍼 표면에 전사할 수 있는 최소의 크기가 작을수록 .. 2022. 7. 27. 이전 1 다음 반응형
