파크시스템스 원자현미경1 반도체 전공정 EUV 계측장비 업체 파크시스템스 기업분석 바야흐로 반도체의 봄이 오고 있습니다. 오늘은 반도체 미세화로 주목을 받고 있는 전공정 EUV 계측장비 업체 파크시스템스의 기업분석과 계측장비의 중요성에 대해 알아보겠습니다. 반도체 미세화로 계측장비 중요성 증대 미세화 : 생산성 증가, 성능 향상 2010년 30나노 -> 2022년 3나노 공정난이도와 스텝수 증가 수율 관리 중요도 증가로 계측중요 회로선폭 축소 작은 파티클이 치명적 결함 초래 65나노 계측장비 비중 50%, 7나노 계측장비 비중 70% 점점 반도체 공정이 미세화되고 수율 싸움이 치열해지기 때문에 전공정에서도 미리미리 오염된 부분을 검출하는 것이 중요합니다. 오염된 부분을 검출하지 못하고 전공정을 다 끝낸 뒤에 후공정에서 결함이 발견된다면 수정하는 비용이 더 들거나 폐기를 해야 하기 때문.. 2023. 12. 22. 이전 1 다음 반응형
