펠리클2 반도체 수율 개선이 중요한 이유와 수율 밸류체인 최근 반도체 관련 뉴스를 보면 '삼성전자 GAA 3나노 수율 60% 이상까지 올라왔다.' 와 같은 반도체 수율 관련 기사들이 많이 올라오고 있다. 수율이 반도체에서 얼마나 중요한지와 수율 밸류체인에 대해 알아보자. 반도체 수율(Yield) 반도체 수율이란 웨이퍼 1장에서 생산 가능한 칩 중에서 실제 생산에 성공한 정상 칩 수를 백분율한 값이다. 불량률의 반대되는 개념이다. 수율이 높다는 것은 생산성이 높다는 것을 의미한다. (정상작동칩 개수/웨이퍼 1장당 칩의 최대 개수) X 100 = 수율(Yield) 높은 수율을 달성하기 위해서는 공정 장비의 정확도, 클린룸의 청정도, 공정 조건등이 중요하다. 반도체 수율 개선이 중요한 이유 비용 절감 경쟁 우위 품질 향상 고객 만족도 향상 생산성 향상 빠른 반응성 .. 2023. 8. 16. 노광 기술의 과거와 오늘 그리고 미래(EUV) EUV(Extreme Ultra Violet) 1. 나노미터의 시대 지금 우리 시대를 나노미터의 시대라고 부른다. 대체 무엇이 나노미터 시대인가? 실리콘 웨이퍼 위에 얇은 산화 매을 입히는 과정이 끝나면 본격적인 반도체 공정이 시작되는데 여기서 등장하는 게 포토레지스트(감광제)이다. 일본 수출규제 당시 수출규제 품목이었다. 오늘의 주인공인 노광 과정이 등장하기 전에 산화막 처리가 된 웨이퍼 위에 감광제를 바르게 되면 모든 준비가 완료가 된다. 여기에 회로를 그리는 노광 공정이 진행될 차례입니다. 노광공정은 회로에 밑그림을 그리는 작업이다. 노광공정 이후에 작업은 각층을 벗겨내는 작업이기 때문에 가장 세밀한 작업이 필요한 곳, 미세 공정의 키를 쥐고 있는 공정이 노광공정이다. 노광공정의 기술력은 노광장비의.. 2022. 8. 8. 이전 1 다음 반응형
