액침공정1 노광 기술의 과거와 오늘 그리고 미래(EUV) EUV(Extreme Ultra Violet) 1. 나노미터의 시대 지금 우리 시대를 나노미터의 시대라고 부른다. 대체 무엇이 나노미터 시대인가? 실리콘 웨이퍼 위에 얇은 산화 매을 입히는 과정이 끝나면 본격적인 반도체 공정이 시작되는데 여기서 등장하는 게 포토레지스트(감광제)이다. 일본 수출규제 당시 수출규제 품목이었다. 오늘의 주인공인 노광 과정이 등장하기 전에 산화막 처리가 된 웨이퍼 위에 감광제를 바르게 되면 모든 준비가 완료가 된다. 여기에 회로를 그리는 노광 공정이 진행될 차례입니다. 노광공정은 회로에 밑그림을 그리는 작업이다. 노광공정 이후에 작업은 각층을 벗겨내는 작업이기 때문에 가장 세밀한 작업이 필요한 곳, 미세 공정의 키를 쥐고 있는 공정이 노광공정이다. 노광공정의 기술력은 노광장비의.. 2022. 8. 8. 이전 1 다음 반응형
