반도체 수율 개선이 중요한 이유와 수율 밸류체인

최근 반도체 관련 뉴스를 보면 '삼성전자 GAA 3나노 수율 60% 이상까지 올라왔다.' 와 같은 반도체 수율 관련 기사들이 많이 올라오고 있다. 수율이 반도체에서 얼마나 중요한지와 수율 밸류체인에 대해 알아보자.

반도체 수율(Yield)

반도체 수율이란 웨이퍼 1장에서 생산 가능한 칩 중에서 실제 생산에 성공한 정상 칩 수를 백분율한 값이다. 불량률의 반대되는 개념이다. 수율이 높다는 것은 생산성이 높다는 것을 의미한다.

(정상작동칩 개수/웨이퍼 1장당 칩의 최대 개수) X 100 = 수율(Yield)

높은 수율을 달성하기 위해서는 공정 장비의 정확도, 클린룸의 청정도, 공정 조건등이 중요하다.

반도체 수율 개선이 중요한 이유

비용 절감

경쟁 우위

품질 향상

고객 만족도 향상

생산성 향상

빠른 반응성

생산 라인 안정성

환경 보호

반도체 회사들은 수많은 칩들을 모아놓은 웨이퍼 단위로 판매를 하기 때문에 수율이 낮으면 웨이퍼당 제 값을 받지 못하게 된다.

반도체가 미세화가 됨에 따라 전공정에서의 작은 결함이 칩에 치명적인 영향을 끼치게 되어 그 중요성이 부각되고 있다.

수율이 높으면 반도체 기업 실적 지표(price, cost, quantity) 중에서 cost, quantity 에 긍정적인 영향을 끼친다.

반도체 수율 밸류체인

EUV 펠리클 : 에프에스티, 에스앤에스텍

건식 식각 : 하나머티리얼즈, 에이피티씨

ALD 증착(HKMG) : 주성엔지니어링, 유진테크, 원익IPS, 지오엘리먼트

베벨 에쳐 : 피에스케이

BSD : 테스

세정, 코팅 : 테스, 제우스, 피에스케이, 한솔아이원스, 코미코

진공펌프 : 엘오티베큠

어닐링 (열처리) : HPSP, 이오테크닉스

스크러버/칠러 : GST, 유니셈

AFM : 파크시스템스

클린룸 : 한양이엔지, 세보엠이씨

리플로우 : 피에스케이홀딩스, 에스티아이

FC-BGA 기판 검사 : 기가비스

번인 테스트 : 엑시콘, 네오셈

웨이퍼 검사 : 넥스틴, 오로스테크놀로지 

외관 검사 : 인텍플러스

EDS : 와이아이케이

테스트 핸들러 : 테크윙 

패키지 검사 : 두산테스나, 네패스아크

소켓 : ISC, 티에스이, 리노공업, 티에프이

습도조절 : 저스템

엑스레이 검사 : 자비스

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